Поиск:
 

Установки для выращивания кристалла кремния методом Чохральского CZ

RU-1000 Рейтинг
Поделитесь страницей в Социальных сетях
Установки для выращивания кристалла кремния методом Чохральского CZ

Предназначены для выращивания монокристаллов кремния из расплава. Могут применяться для выращивания монокристаллов кремния «солнечного» и полупроводникового качества, диаметром от 75 до 300 мм. Оборудованы видеосистемой контроля диаметра растущего кристалла.

Метод был разработан польским химиком Яном Чохральским в 1916 году. Выращивание монокристаллов кремния производится в кварцевых тиглях большого диаметра (от 20 до 42 дюймов) путем вытягивания вверх монокристалла из расплава. В начале процесса в контакт с расплавом вводится ориентированная затравка, от которой начинается постепенный рост кристалла.

ООО «НПО «ГКМП» предлагает Заказчику различные варианты компоновки установок: камера кристалла - с дверью или «труба», главный затвор - щелевой или «хлопушка» в любых сочетаниях.

Для выращивания полупроводниковых монокристаллов кремния с особыми свойствами, возможно применение магнита, подавляющего конвекцию расплава.

Для повышения скорости роста монокристалла мы предлагаем установку водоохлаждаемого колодца, с электромеханическим приводом подъема-опускания. Применение водоохлаждаемого колодца позволяет повысить скорость роста кристалла в 1,5-2 раза и улучшить некоторые важные характеристики.

Диаметр растущего монокристалла определяется по телекамере.При необходимости контроля температуры нагревателя и/или расплава устанавливаются пирометры.

Главный насос – вакуумный агрегат, включающий в себя насос Рутса и пластинчато-роторный насос, выполнен в одном корпусе, включая блок управления. Для поддержания требуемого давления в рабочей камере при постоянном потоке газа, вакуумный агрегат регулирует скорость откачки изменяя частоту вращения.Перед вакуумным агрегатом устанавливается специальный пылевой фильтр с функцией самоочистки, что позволяет проводить долгие процессы (до 400 часов) без существенной потери скорости откачки.

Все этапы выращивания кристалла: от проверки натекания до охлаждения кристалла полностью автоматизированы.

На сегодняшний день российская полупроводниковая промышленность в основном использует монокристаллы кремния диаметром 3, 4, 6 и 8 дюймов. В перспективе планируется переход на кристаллы 12 дюймов. ООО «НПО» ГКМП» может изготовить установки для выращивания монокристаллов кремния под любой диаметр кристалла.

Оборудование изготавливается под заказ, по согласованному ТЗ. Любые параметры могут быть изменены по Вашим требованиям.

Цена: под заказ руб.
Вас также могут заинтересовать

Автоматизированная установка для выращивания монокристаллов способом Чохральского (Ника-3)

"Многофункциональная установка НИКА-3 предназначена для выращивания широкой гаммы тугоплавких оксидных монокристаллов способом Чохральского, таких как сапфир, алюмоиттриевый гранат, танталат лития, ни

Установки для выращивания искусственных кристаллов

Электропечи с источником питания подключенным к двум фазам сети переменного тока и подающий на нагреватель переменный ток Параметры и размеры Апекс-M (30 кг) Апекс-250 (60 кг) Апекс-300 (85 кг) 1. Сил

Установка автоматизированная для выращивания монокристалов кремния 221 УМК 090

"установка позволяет работать с тепловыми узлами под тигли 18" (457 мм), 20" (508 мм) и при комплектации плавильной камерой увеличенного диаметра с тепловым узлом под тигель 22" (558 мм); – система уп

Установки для выращивания монокристаллов лейкосапфира методом Киропулоса KY (Мусатова, ГОИ)

Предназначены для выращивания монокристаллов лейкосапфира из расплава. Метод Киропулоса характеризуется малыми температурными градиентами на фронте кристаллизации. К основным преимуществам относятся т

Установки для выращивания монокристаллов сапфира и рубина методом Бриджмена-Стокбаргера

Предназначены для выращивания монокристаллов лейкосапфира и рубина по любой кристаллографической ориентации, том числе по С-ориентации (0001). Выращивание кристалла проводят в тигле, размеры и форма к
Внимание!
Информация по Установки для выращивания кристалла кремния методом Чохральского CZ предоставлена компанией-поставщиком ООО "НПО "ГКМП". Для того, чтобы получить дополнительную информацию, узнать актуальную цену или условия постаки, нажмите ссылку «Отправить сообщение».
Контакты компании
Страна
Россия
Регион
Московская область
Город
москва
Адрес
ул. Толбухина, д. 10, корп. 2, пом. 1, комн. 11
Телефон
8(4832) 58-19-66
Интернет
gkmp32.com
Сделать запрос
Введите свое имя
Укажите свой Email
Напишите ваш вопрос
Подтвердите согласие