Установка совмещения и экспонирования MDA-400M Установка MDA-400Mшироко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. В режиме контактного экспонирования система может достигнуть прецизионной точности разрешения в 1 мкм. MDA-400M - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства. Обработка пластин до 150 мм.
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование.
Результаты после проведения процессов (инспекция с СЭМ).pdf
Особенности:
Прецизионная точность совмещения 1 мкм
Многофункциональный держатель для кусочков и пластин до 6'' (150мм)
Специальные держатели подложек (кусочков по запросу)
Прецизионный столик для совмещения и микроскоп
Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования
Система для компенсации «клина засветки» на воздушных подшипниках
Антивибрационный стол
Эргономичный дизайн для удобного использования
Низкая стоимость/высокое качество
Управление с компьютера
Мощность лампы УФ источник света с мощностью 350 Вт с контролем интенсивности и мощности излучения.
Размер подложки кусочки, пластины до 6 дюймов, размер подложек 6х6 дюйма
Точность совмещения 1 микрон
Разрешение 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм)
Размер маски до 7 х 7 дюймов
УФ лампа 350 Вт.
Оптическое зрение Микроскоп двойного поля (80x - 1000xувеличение), CCD камера
Размер однородного пучка излучения 6,25 х 6,25 дюймов
Однородность пучка < 5%
Интенсивность излучения при длине волны 365 нм Максимальная 15-25 мВт/см2
Режим управления с ПК (PLC контроль)
Регулируемое время экспонирования 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс.
Совмещение подложек Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 10 мм) и по углу ? (± 5°)
Выравнивание Компенсация ошибки клина
Методы экспонирования Мягкий контакт, жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором(регулируемое 1 мкм)
Стол Антивибрационный стол
Опции ИК опция обратного совмещения (IR BSA), Датчик интенсивности УФ излучения, модульUV-LED излучения (365 нм)
