Зондовая станция SPS-2600 MicroXact Incorporated (США) - компания разрабатывает и производит широкий круг зондовых станций для контроля в производстве полупроводниковых прибор и исследованиях. Системы максимально доступны и легки в использовании. Сконструированные компанией MicroXact Inc. точные и надежные аналитические системы для зондовых измерений могут быть полностью оптимизированы под практически любую задачу и требования заказчика. Технически зондовые станции могут быть сконструированы для пластин диаметром до 200 мм. и сконфигурированы для измерений DC, RF, температурных и оптических измерений как в ручном так и в автоматическом режимах.
Зондовая станция SPS-2600(SPS-2600-PLUS):
Полуавтоматическая зондовая станция с высоким соотношением цена/качество с управлением с ПК или ручным управлением для исследований и мелкосерийных производств с возможностью апгрейда. DC и RF измерения, измерение емкостивозможностью апгрейда.
Зондовая станция SPS-2600 сконструирована для DC, RF и ёмкостных измерений, однако станция также может быть сконфигурирована для температурных и светочувствительных измерений и высоко частотных измерений. Станция полностью готова к апгрейду и возможности конфигурации под любые требования заказчиков.
Характеристики станции:
- Тестирование на пластинах до 100 мм. (4 дюйма)
- 4 манипулятора зондов (2 слева и 2 справа) в стандартной конфигурации (до 10 шт.)
- Стереомикроскоп с длинным фокусным расстоянием и высоко мощнымным LED осветителем
- VXM моторизованный столик для перемещения поосям XY
- Диапазон перемещенияпо XY до 127 х 127 мм.
- Разрешение перемещения столика по XY - ±3,2 мкм (±0,8 мкм - SPS-2600-PLUS)
- Повторяемость - <6 мкм (<2 мкм - SPS-2600-PLUS)
- Точность - <25 мкм (<10 мкм - SPS-2600-PLUS)
- Перемещение по Z моторизовано.
- Перемещениепо Z - 12,7 мм
- Разрешение перемещения по Z - ±0,8 мкм (±0,2 мкм - SPS-2600-PLUS)
- Повторяемостьпо Z - <1,5мкм (<1мкм - SPS-2600-PLUS)
- Точность - <6,5мкм (<2,5мкм - SPS-2600-PLUS)
- Точность наклона столика (вертикальная жесткость): ? 0,0015 мкм (при 10 кг загрузки)
- Перемещение по Тета: от 0° - 360°, ±6°
- Разрешение по Тета- 0,1° (0,05° - SPS-2600-PLUS)
- Управление с ПК и джойстиком
- COSMOS программное обеспечение, руководство по программе
- Экранирование от внутренних радиопомех (EMI shilding)
- Опции и апгрейд
Брошюра - SPS-2600-PLUS...
Стандартная конфигурация:
- Платформа станции
- 4 манипулятора микропозиционера зондов (2 слева и 2 справа) в стандартной конфигурации
- 4 стандартных рук-зондов и вольфрамовые иглы зондов
- Стереомикроскоп с длинным фокусным расстоянием (цифровая камера - опция)
- Увеличение до 180х (до 4000х - опционально)
- Высоко мощным LED осветителем с регулировкой интенсивности освещения
- Окуляры на 10х и 20х для микроскопа
- Вспомогательная 2х (Barlow) линза длямикроскопа
- Стандартный безмаслянный или ультра тихий вакуумный насос для прижима
- Экранирование от внутренних радиопомех (EMI shilding)
Опции и дополнительные акцессории:
- Нагреваемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)
- Охлаждаемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)
- Нагреваемый / охлаждаемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)
- Держатели пластин: до 100 мм, до 150 мм
- Обработка держателей: (полированная латунь, анодированный алюминий, позолоченная полированная латунь)
- Цифровая фото-видеокамера высокого разрешения: по выбору 9,1 ; 5,0 или 1,3 Мегапикселов
- Установка для перемещения микроскопа по XY в диапазоне 50 х 50 мм
- Консольная установка для перемещения по осям XYZ
- Программное обеспечение для камеры для снятия размеров и захвата изображения
- Апгрейд микроскопа для увеличения до 4000х
- Световое экранирование (защита) для светочувствительных измерений
- Экранирование (защита) от RF помех
- Лазерный или ультразвуковой резак
- Микропозиционеры высокого разрешения с вакуумной базой
- Микропозиционеры высокого разрешения с магнитной базой
- Полугибкие руки зондов с BNC соединителями
- TRIAX, BNC, Pin-plug соединители
- Зонды: активные, пассивные, ВЧ, триаксиальные, коаксиальные, с низким сопротивлением
- Microxact может использоваться со всеми основными производителями плат
ОПИСАНИЕ:
Позиционирование:
XY столик:система позиционирования с обратной связью обеспечивает микронную точность для измерений. Шаговые моторы обеспечивают быстрое позиционирование по оси XY. Легкое и ручное позиционирование с использование 2-ух скоростного аналогового джойстика.
Платформа-плита зондовой станции:
Платформа зондовой станции моторизована для легкого перемещения станции вверх/вниз с использование удобного кулисного переключателя на передней панели станции.
