Установка плазмохимической очистки удаления фоторезиста и стерилизации

НАЗНАЧЕНИЕ:
Удаления фоторезиста и очистка от органических примесей на пластинах диаметром до 150 мм.
Стерилизация медицинских, в том числе термолабильных инструментов и материалов.

ОСОБЕННОСТИ:
Групповая обработка 10 пластин диаметром до 150 мм, размещенных в кварцевой лодочке; Стерилизация медицинских инструментов, приспособлений, ёмкостей, посуды и т.д. Поддержание стабильного ВЧ разряда в диапазоне рабочих давлений 10-100 Па; Регулирование и автоматическое поддержание уровня ВЧ мощности в диапазоне 100-1000 Вт. Локализация плазмы в зоне обработки пластин за счет развязки ВЧ разряда от земли; Автоматизированное управление от микропроцессора. Потребляемая мощность не более 4,5 кВт. СИСТЕМЫ УСТАНОВКИ:
Реакционная камера с индукционной системой возбуждения разряда системой согласования и развязкой ВЧ разряда от земли; ВЧ генератор 13,56 МГц, 1000Вт; Вакуумная система на базе форвакуумного насоса; Газовая система (2 канала) - каждый канал включает электронный регулятор расхода газа (РРГ), ручной запорный кран, регулятор давления (РДМ), манометр, электромагнитный клапан; Система водяного охлаждения; Микропроцессорная система управления;