Установки разработаны для эксплуатации в чистых помещениях или под индивидуальными блоками обеспыливания.
В соответствии с процессом и по техническим требованиям состав установок компонуется нижеуказанным оборудованием.
Ванны из полипропилена или фторопласта для химической обработки и гальванопокрытий оснащенные необходимыми устройствами и системами Блоки нагрева/охлаждения технологических растворов
Устройства для перемешивания растворов (барботеры, электромеханичекие мешалки)
Устройства для горизонтального или вертикального покачивания кассет
Программируемые источники тока для гальванических ванн АПС и АПРС
Таймеры для контроля времени обработки
Накопительные устройства и устройства для автоматического переноса кассет из ванны в ванну
Промывные ванны с устройством контроля качества отмывки
Ванны из нержавеющей стали Ванны для обработки в органических растворителях
Ультразвуковые ванны
Центрифуги реагентной обработки (проявление/травление, промывка и сушка) Центрифуги
Блоки подачи реагентов
Центрифуги нанесения фоторезиста Центрифуги
Устройства дозированной подачи фоторезиста
Камеры сушки и задубливания фоторезиста
Встроенные плиты нагрева реагентов с керамической греющей поверхностью Блоки подачи азота и деионизовнной воды с финишными фильтрами
