Установка полуавтоматическая совмещения и экспонирования MDA-80SA MDA-80SA / MDA-12SA - полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MIDAS SYSTEM Co., Ltd (Корея)
MIDAS SYSTEM Co., Ltd. - компания один из мировых лидеров в производстве систем фотолитографии для процессов производства полупроводников и FPD (Flat Panel Display) дисплеев. Компания предлагает установки исистемы совмещения и экспонирования, а также центрифуги для нанесения фоторезиста для технологийflip chip, полупроводниковые приборы, MEMS, оптоэлектроника, СВЧ приборы, дифракционная оптика, LED чипы и др.
MDA-80SA / MDA-12SA - полуавтоматические установки совмещения и экспонирования
Установки MDA-80SA / MDA-12SA прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS,оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства,LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость. По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой. Обработка пластин до 200 мм / 300мм.
Моторизованный столик при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.
Особенности:
Прецизионная точность совмещения 1 мкм
Многофункциональный держатель пластин и подложек до 8'' / 12". Специальные держатели подложек (кусочков по запросу)
Прецизионный столик для совмещения и микроскоп
Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования
Операции с помощью компьютера.
Более 100 рецептов
Система для компенсации «клина засветки» на воздушных подшипниках
Антивибрационный стол
Эргономичный дизайн для удобного использования
Характеристики:
Параметр MDA-80SA MDA-12SA Мощность лампы УФ источник света с мощностью 2 кВт с контролем интенсивности и мощности излучения. УФ источник света с мощностью 2-5 кВт с контролем интенсивности и мощности излучения.
Размер подложки кусочки, пластины до 8 дюймов, размер подложек до 8х8 дюйма кусочки,пластины до 14 дюймов, размер подложек до 14х14 дюйма
Точность совмещения 1 микрон 1 микрон
Разрешение 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Siпластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм) 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Siпластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм)
Размер маски 9 х 9 дюймов 15 х 15 дюймов
УФ лампа 2 кВт. 2-5 кВт.
Оптическое зрение Микроскоп двойного поля (130x -850x увеличение, 1600х - опция), CCD камера Микроскоп двойного поля (480x -1000x, увеличение 1600х - опция), CCD камера
Моторизованный микроскоп Моторизованный микроскоп по осям X,Y,Z (управление с джойстика) Моторизованный микроскоп по осям X,Y,Z (управление с джойстика)
Моторизованный столик Столик с моторизацией по осям X,Y,Z Theta Столик с моторизацией по осям X,Y,Z Theta
Размер однородного пучка излучения 9,25 х 9,25 дюймов 13,25 х 13,25 дюймов
Однородность пучка < 3-5% < 3-5%
Интенсивность излучения при длине волны 365 нм Максимальная 15-20 мВт/см2 При мощности лампы 2 кВт: 15-30 мВт/см2
При мощности лампы 5 кВт: 25-60 мВт/см2
Интенсивность излучения при длине волны 400 нм Максимальная 20-25 мВт/см2 При мощности лампы 2 кВт: 30-50 мВт/см2
При мощности лампы 5 кВт: 50-100 мВт/см2
Режим управления С помощью ПК С помощью ПК
Регулируемое время экспонирования 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс
Совмещение подложек Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 5 мм) и по углу ? (± 5°) Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 5 мм) и по углу ? (± 5°)
Выравнивание Компенсация ошибки клина
автоматическое определение края - датчик давления)
Компенсация ошибки клина
автоматическое определение края - датчик давления)
Методы экспонирования Мягкий контакт,жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм с помощью системы на базе ПО) Мягкий контакт,жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм с помощью системы на базе ПО) Дисплей Монитор с точскрином Монитор с точскрином
Стол Антивибрационный стол Антивибрационный стол
Опции ИК опция обратного совмещения (IR BSA), обратное совмещение с помошью CCD камеры, Датчик интенсивности УФ излучения и дальнего УФ излучения (DUV) ИК опция обратного совмещения (IR BSA), обратное совмещение с помошью CCD камеры, Датчик интенсивности УФ излучения и дальнего УФ излучения (DUV)
