Установка MDA-150 Особенности:
Прецизионная точность совмещения 1 мкм
Многофункциональный держатель пластин и подложек до 6''. Специальные держатели подложек (кусочков по запросу)
Прецизионный столик для совмещения и микроскоп
Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования
Различные мощности излучения 350Вт, 500Вт, 1000Вт (цифровое управление)
Операции с помощью компьютера.
Более 100 рецептов
Система для компенсации «клина засветки» на воздушных подшипниках
Антивибрационный стол
Эргономичный дизайн для удобного использования
Параметр MDA-150 Мощность лампы УФ источник света с мощностью 350Вт, 500Вт, 1000Вт (цифровое управление) с контролем интенсивности и мощности излучения.
Размер подложки кусочки, пластины до 6 дюймов, размер подложек 6х6 дюйма
Точность совмещения 1 микрон
Разрешение 1 микрон, при использованиитонкого фоторезиста наSi пластине с вакуумным контактом (возможно 0,8 мкм)
Размер маски 7 х 7 дюймов
УФ лампа 350Вт, 500Вт, 1000Вт (цифровое управление)
Оптическое зрение Микроскоп двойного поля (80x -1000x увеличение, 1600х - опция), CCD камера
Размер однородного пучка излучения 7,25 х 7,25 дюймов
Однородность пучка < 3-5%
Интенсивность излучения при длине волны 365 нм Максимальная 50 мВт/см2
Режим управления С помощью ПК
Регулируемое время экспонирования 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс
Совмещение подложек Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 5 мм) и по углу ? (± 5°)
Выравнивание Компенсация ошибки клина
автоматическое определение края - датчик давления)
Методы экспонирования Мягкий контакт,жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм с помощью системы на базе ПО)
Стол Антивибрационный стол
Опции ИК опция обратного совмещения (IR BSA) или обратное совмещение с помошью CCD камеры, Датчик интенсивности УФ излучения и дальнего УФ излучения (DUV)
