Каролина ПХТ15
|
Поделитесь страницей в Социальных сетях
|
|
Установка предназначена специально для ионно-химического травления материалов, применяемых в производстве микроэлектроники. Травление изделий происходит путем бомбардировки поверхности изделий ионами и радикалами технологического газа, образующимися в индукционном ВЧ-разряде при помощи источника ионов высокой плотности (патент РФ N 2 171 555). Для того, чтобы увеличить параметры плазмы, применяется навесная магнитная система в виде двух электромагнитных катушек большого диаметра. Применяется импортный химически стойкий турбомолекулярный насос типа Turbo-V 551 Navigator. Баратрон для измерения вакуума в рабочей точке. Установка может укомплектовываться лазерным измерителем толщины для измерения глубины травления. Прототип установки применяется (ЭРА-3М, ЭРА-4 не шлюзовая) для производства полупроводниковых лазеров и светодиодов на арсениде и нитриде галия, а также для травления SiO2, кремния, полиимида, снятия фоторезиста и т.д в технологии микроэлектроники. Установка может применяться и для плазмостимулированного осаждения диэлектриков из газовой фазы (SiO2, Si4N4).
Вас также могут заинтересовать
Размер 870*2050, 970*2050 Конструкция Толщина полотна - до 112 мм, Закрытая, утепленная, гнуто-сварная профильная коробка с усилением в зоне ригелей, противосъемные штыри, три контура уплотнения, опци
Размер 870*2050, 970*2050 Конструкция Толщина полотна - до 112 мм, Закрытая, утепленная, гнуто-сварная профильная коробка с усилением в зоне ригелей, противосъемные штыри, три контура уплотнения, опци
Размер 870*2050, 970*2050 Конструкция Толщина полотна - до 112 мм, Закрытая, утепленная, гнуто-сварная профильная коробка с усилением в зоне ригелей, противосъемные штыри, три контура уплотнения, опци
Размер 870*2050, 970*2050 Конструкция Толщина полотна - до 112 мм, Закрытая, утепленная, гнуто-сварная профильная коробка с усилением в зоне ригелей, противосъемные штыри, три контура уплотнения, опци
Раковина с механизмом наклона. Максимальная вес клиента 100 кг. Раковина белая или черная. Габариты: Высота 1050 мм Длина 1150 мм Ширина 600 ммАртикул906911725Типпарикмахерская мойка
Внимание! Информация по Каролина ПХТ15 предоставлена компанией-поставщиком НПП ЭСТО, ЗАО. Для того, чтобы получить дополнительную информацию, узнать актуальную цену или условия постаки, нажмите ссылку «Отправить сообщение».
|